01 Yêu cầu về môi trường sản xuất chip bán dẫn
Do các thiết bị điện tử được sản xuất và chế tạo trong quá trình có yêu cầu rất cao đối với không khí trong phòng và chất lượng không khí, chủ yếu tập trung vào việc kiểm soát bụi mịn và bụi lơ lửng, đồng thời còn quy định nghiêm ngặt về nhiệt độ, độ ẩm, lượng không khí tươi và mức độ tiếng ồn trong phòng.
1. Mức độ ồn trong phòng (trạng thái trống): không được vượt quá 65dB(A)
2. Tỷ lệ phủ kín của phòng sạch theo chiều dọc không được nhỏ hơn 60%, tỷ lệ phủ kín của phòng sạch một chiều theo phương ngang không được nhỏ hơn 40%, nếu không sẽ trở thành khu vực một chiều cục bộ.
3. Sự chênh lệch áp suất giữa phòng sạch và bên ngoài không được nhỏ hơn 10Pa, sự chênh lệch áp suất giữa khu vực sạch và khu vực không sạch có cùng cấp độ sạch khác nhau không được nhỏ hơn 5Pa.
4. Lượng không khí tươi trong phòng sạch nên lấy giá trị lớn nhất trong hai trường hợp sau:
5. Tổng lượng không khí tươi cần thiết để bù đắp lượng không khí thải trong phòng và duy trì áp suất dương trong phòng.
6. Đảm bảo lượng không khí tươi cung cấp cho mỗi người trong phòng sạch mỗi giờ không nhỏ hơn 40m³.
7. Hệ thống điều hòa không khí làm nóng cần được trang bị gió mới, bảo vệ ngắt điện khi nhiệt độ quá cao, nếu sử dụng giai đoạn phun sương thì cần có chức năng bảo vệ khi thiếu nước, tại các khu vực lạnh, hệ thống gió mới nên được trang bị biện pháp chống đóng băng. Lưu lượng gió cung cấp cho phòng sạch.
02 Thiết kế và thi công phức tạp cùng chi phí xây dựng cao
Phòng sạch sản xuất chip điện tử có yêu cầu khắt khe về độ sạch, do đó thiết kế và thi công cũng vô cùng phức tạp. Ngoài ra, độ sạch càng cao thì chi phí xây dựng càng lớn. ty le chau a Ví dụ như phòng sạch một chiều cấp 100 (FS 209), chi phí xây dựng nội thất và hệ thống điều hòa không khí đạt khoảng 10.000 nhân dân tệ/m². Cộng thêm các hệ thống phòng cháy chữa cháy, xử lý ba loại thải, cung cấp điện và tự động hóa, tổng chi phí xây dựng có thể lên đến 25.000-30.000 nhân dân tệ/m². Sau khi hoàn thành xây dựng phòng sạch chip điện tử, cần phải trải qua ba bước kiểm tra: kiểm tra trạng thái trống, kiểm tra trạng thái tĩnh và kiểm tra trạng thái hoạt động, chỉ khi hoàn thành các bước kiểm tra này mới có thể đưa vào sử dụng hàng ngày. Vì vậy, đây là một dự án chịu nhiều rủi ro kỹ thuật, đồng thời còn gặp phải áp lực lớn trong vận hành, bảo trì, hiệu chỉnh và kiểm tra sau này.
03 Kiểm soát nhiệt độ và độ ẩm trong phòng sạch sản xuất chip bán dẫn Trong phòng sạch của nhà máy bán dẫn (FAB), độ ẩm tương đối thường được duy trì ở mức từ 30% đến 50%, sai số cho phép chỉ nằm trong phạm vi hẹp ±1%. nhận định bóng đá keonhacai Ví dụ như khu vực phơi sáng – hoặc khu vực xử lý tia cực tím xa (DUV) thì thậm chí còn nhỏ hơn nữa – trong khi ở những nơi khác có thể mở rộng đến ±5%.
Vì độ ẩm tương đối có một loạt các yếu tố có thể làm giảm hiệu suất tổng thể của phòng sạch, bao gồm:
-
Sự phát triển của vi khuẩn;
-
Phạm vi nhiệt độ mà nhân viên cảm thấy thoải mái;
-
Xảy ra điện tích tĩnh;
-
Ăn mòn kim loại;
-
Ngưng tụ hơi nước;
-
Suy giảm trong quy trình lithography;
-
Tính hút ẩm.
Vi khuẩn và các dạng ô nhiễm sinh học khác (nấm mốc, virus, nấm, bọ ve) có thể phát triển mạnh trong môi trường có độ ẩm tương đối trên 60%. Một số nhóm vi khuẩn có thể phát triển khi độ ẩm tương đối vượt quá 30%.
Công ty Xử lý Môi trường Thượng Thái Quảng Đông cho rằng nên duy trì độ ẩm trong khoảng từ 40% đến 60%, giúp giảm thiểu tác động của vi khuẩn và các bệnh truyền nhiễm đường hô hấp. Độ ẩm trong khoảng 40% đến 60% cũng là phạm vi mà con người cảm thấy thoải mái. Nếu độ ẩm quá cao sẽ khiến người ta cảm thấy bí bách, còn nếu độ ẩm dưới 30% sẽ khiến da khô, nứt nẻ, khó chịu về đường hô hấp và tâm lý không ổn định. Độ ẩm cao thực sự làm giảm tích tụ điện tĩnh trên bề mặt phòng sạch – đây là điều mong muốn. Độ ẩm thấp dễ gây tích tụ điện tĩnh và trở thành nguồn phát sinh điện tĩnh có thể phá hủy thiết bị. Khi độ ẩm tương đối vượt quá 50%, điện tĩnh bắt đầu phân tán nhanh chóng, nhưng khi độ ẩm nhỏ hơn 30%, điện tĩnh có thể tồn tại lâu dài trên bề mặt cách điện hoặc chưa nối đất. Độ ẩm từ 35% đến 40% là mức cân bằng vừa phải, vì vậy các phòng sạch bán dẫn thường sử dụng thiết bị kiểm soát bổ sung để hạn chế tích tụ điện tĩnh. Nhiều phản ứng hóa học, bao gồm cả quá trình ăn mòn, diễn ra nhanh hơn khi độ ẩm tăng. Mọi bề mặt tiếp xúc với không khí xung quanh đều được bao phủ bởi ít nhất một lớp phân tử nước. Khi các bề mặt này được làm từ lớp màng kim loại có thể phản ứng với nước, độ ẩm cao sẽ làm tăng tốc độ phản ứng. May mắn thay, một số kim loại như nhôm có thể tạo ra lớp oxit bảo vệ và ngăn chặn phản ứng oxy hóa tiếp theo; ngược lại, ví dụ như đồng oxit, không có khả năng bảo vệ, do đó bề mặt đồng dễ bị ăn mòn hơn trong môi trường có độ ẩm cao.
Ngoài ra, trong môi trường có độ ẩm tương đối cao, do sự hấp thụ nước, hiện tượng phồng lên của lớp keo photo sau quá trình sấy sẽ nặng hơn. kqbd truc tuyen Tính bám dính của keo photo cũng có thể bị ảnh hưởng tiêu cực bởi độ ẩm cao; độ ẩm thấp khoảng 30% giúp keo photo bám tốt hơn, thậm chí không cần chất cải tiến polymer hóa. Việc kiểm soát độ ẩm tương đối trong phòng sạch bán dẫn không phải là điều ngẫu nhiên. Tuy nhiên, theo thời gian, tốt nhất là nên xem xét lại lý do và cơ sở của các phương pháp phổ biến được chấp nhận rộng rãi.